1、负责镀膜、清洗、涂胶、黄光、刻蚀工艺开发和新产品开发;
2、负责镀膜、清洗、涂胶、黄光、刻蚀性能表征和测试规范制定,例如光学常数测量、膜厚测量、均匀性测量、应力测量、粗糙度测量、成分和结构测量等;
3、负责从环境、工艺方面提出系统的缺陷优化方案
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